功率(kw):
330重量(kg):
90规格外形(长*宽*高):
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SuperView W1三维光学轮廓测量仪是利用光学显微技术、白光干涉扫描技术、计算机软件控制技术和PZT垂直扫描技术对工件进行非接触测量,还原出工件3D表面形貌宏微观信息,并通过软件提供的多种工具对表面形貌进行各种功能参数数据处理,实现对各种工件表面形貌的微纳米测量和分析的光学计量仪器。
SuperView W1三维光学轮廓测量仪只需操作者装好被测工件,在检定软件上设定物镜倍率和测量模式后点击“开始”按钮,光学物镜会对工件表面进行自动对焦和非接触扫描,并按设定的位置进行测量,软件界面会实时扫描物体宏微观表面形貌;扫描结束后,操作者可通过分析工具对生成的3D形貌进行分析,得到如轮廓、厚度、粗糙度、体积等多种表面形貌测量分析数据。
该产品具有精度高、使用方便、功能强等优点,采用非接触式传感器扫描技术,用于对各种产品和部件的表面形貌特征进行测量和分析,它比传统的探针式轮廓仪操作更方便,测量精度更高。
由于采用非接触无损的测量方式,避免了对被测物体造成划痕和磨损,尤其适用于各种柔软材料、易腐蚀材料和传统方式无法检测的表面形态测量和分析。
还能够对各种表面的工件和材料从宏观到微观的进行长度、高度、间距、水平距离、垂直距离、角度、圆弧半径、表面粗糙度等几何参数进行亚微米、纳米级测量和分析。
系统软件为简体中文操作系统,操作方便。
SuperView W1三维光学轮廓测量仪性能特点:
1) 使用白光干涉测量技术,非接触式、非破坏性、快速表面形貌测量与分析;
2) 台阶高度测量分辨率达0.1 nm;
3) 可搭配黑白或彩色相机进行2D、3D显示和测量功能;
4) 配置电动鼻轮,可同时挂载多种物镜并程序化控制切换使用;
5) 采用双光源模式,适应特殊样品测量;
6) 测量范围100×100mm(可按客户定制尺寸);
7) 配置低倍率物镜(2.5×和5×倍率),可进行大面积3D测量;
8) 提供多种表面参数测量功能,如断差高度、夹角、面积、体积、粗糙度、波纹度、薄膜厚度及平面度;
9) 提供超过250多种各类参数(含2D、3D)计算;
10) 友好的人机界面,简便的图形化控制系统及3D图型显示;
11) 多种交换文件格式,可储存与读取多种3D轮廓文件格式;
SuperView W1三维光学轮廓测量仪应用:
SuperView W1三维光学轮廓测量仪广泛应用于汽车工业、半导体加工、精密加工、航空航天、造纸工业、钢铁工业、薄膜加工、生物医学、MEMS、能源器件、微电子、信息存储、结构光学和通讯产品等许多行业领域中。
各类光滑、连续光滑和适度粗糙物体表面从毫米到亚微米、纳米尺度的3D形貌轮廓、坐标、厚度、粗糙度、体积、表面纹理等测量。
SuperView W1三维光学轮廓测量仪技术指标:
光源 | 白光LED;绿光LED |
影像系统 | 1280×1024 |
普通物镜 | 1×、2.5×、5×、10×、20×、50×、100×、150× |
干涉物镜 | 5×、10×、20×、50×、100× |
坡度 | 小于42º |
物镜座 | 电控5孔物镜转盘 |
光学ZOOM | 1×或0.5× |
XY移动平台 | 测量范围:100×100mm(可根据客户需要定制) 精度:0.5µm 分辨率:0.01µm 负载:10kg 控制方式:自动 |
水平调整 | 手动调整,±4° |
Z轴 | 移动范围:100mm 分辨率:0.01µm |
PZT扫描 | 行程:100µm 分辨率:0.8nm 重复性:5nm 扫描速度:≤30µm/s |
测量模式与精度 | 垂直扫描VSI; 准确度(4.43µm台阶高):0.75% 重复性(4.43µm台阶高):0.1% 相移法扫描PSI: 准确度(57nm台阶高):1.5% 重复性(57nm台阶高):0.3% |
一般测量时间 (扫描范围10µm) | VSI:10S;PSI:3S |
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