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等离子体增强回转PECVD系统

等离子体增强回转PECVD系统
  • 品牌:贝意克
  • 产地:安徽
  • 关注度:2310
  • 型号:BTF-1200C-S-R-PECVD
  • 报价:面议
  • 信息完整度:
核心参数
  • 非金属电热元件:其他
  • 金属电热元件:铁铬铝丝
  • 烧结气氛:真空
  • 温控精度:±1℃
  • 最高温度:1200℃
  • 额定温度:1100℃
产品介绍

一、主要特点

我司研制的回转PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍,并解决了物料不均匀堆积现象

该款设备选用特殊形状(两头细中间粗)的石英管作为化学气相沉积的反应室;加热的同时炉管可360度旋转,管内壁有石英挡片帮助粉体材料翻炒有助于烧结得更均匀;而且炉体可左右大角度倾斜,方便进出料,倾斜角度在0~35°可调。

此款设备现广泛应用于低温石墨烯制备实验、粉体材料碳包覆实验。

  

二、技术参数

加热炉

使用温度

≤1200℃

加热区长度

440mm

恒温区长度

200mm

加热元件

电阻丝(掺钼铁铬铝合金)

控温精度

±1℃

控温方式

7"液晶触屏与工控仪表双重控温,模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

炉管尺寸

Φ60*420mm+Φ100*360mm+Φ60*420mm

炉管转速

3~13r/min

倾斜角度

0~35°

PE源

信号频率

13.56MHz±0.005%

功率输出范围

0-500W

射频输出接口

50Ω,N-type,female

功率稳定性

≤5W

气路系统

供气系统

高精度质量流量计(量程可选)

准确度

±1.5%

响应精度

±0.2%

响应时间

气特性:1~4sec,电特性:10sec

工作压差范围

0.1~0.5MPa

压力

≤3MPa

连接头类型

Φ6mm双卡套不锈钢接头

真空系统

真空系统

采用KF25系列波纹管和手动挡板阀

真空度可达10-1Pa

数显真空测试仪可直观的显示数值


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工商信息

企业名称

安徽贝意克设备技术有限公司

企业类型

信用代码

91340100591423143H

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

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安徽贝意克设备技术有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料设备研发、生产、销售与技术服务于一体的高科技企业。公司历经十余年的艰苦创业已由当年的行业追随者发展成为今天的行业领跑者。 公司重视技术攻关和产品研发,建有一流的产品研发中心,拥有一支由多名博士硕士组成的专业研发队伍,累计获得**200余项。并通过产学研合作,与北京大学南开大学等多所知名院校建立联合实验室及研究生联合培养基地 公司专注于新材料装备工艺开发及装备制造,产品门类

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