“ 离子精修仪 ”

消除 FIB 镓离子导致的样品非晶层问题

“装机成功啦！”

在科学研究的道路上，每一次突破都离不开先进的科研设备的支持。近日，由曾获诺贝尔学奖(1964)的 Prof. A. M. Prohorov 和其合作者创立的匈牙利品牌 Technoorg Linda 旗下的  Gentle Mill 离子精修仪设备在安徽大学电镜中心顺利安装，经过工程师们的精心调试，设备各项参数达标，已经成功实现了在实验室中的正常运行，并且展现出了令人满意的实验结果。

设备顺利装机及安徽大学电镜中心工作人员正在使用设备

01. 关于安徽大学电镜中心

安徽大学电镜中心是学校重点建设的高端平台之一。本着服务安大、覆盖安徽、面向全国、对标国际的宗旨，为高等学校、科研院所及企事业单位提供对外测试服务，是国内一流的电镜微观结构表征平台。中心目前已拥有一台 Crossbeam 550 FIB-SEM 双束电镜，一台 F200 场发射电镜，一台 NEOARM 单球差电镜，一台 Titan Themis Z 双球差电镜。另外，中心还了配备热电一体，气体加热，液体电化学以及力电一体等全套原位样品杆。

02. 为什么使用离子精修仪？

安徽大学电镜中心的工作人员需要对 FIB 减薄后的样品进行电子能量损失谱（EELS）分析。但当前面临的问题是， FIB 加工后带来的非晶层以及注入的镓离子都会对 EELS 分析带来干扰，掩盖了样品的真实信息。

通过使用 Gentle Mill 离子精修仪，其配备了专利设计的低能氩离子枪，离子束能量最低可达 100 eV，可把非晶层厚度精修到 1 nm 以下，由此工作人员可以拨开非晶层的迷雾，直接获得样品的真实信息。

03. 离子精修案例分享

接下来我们一起看看经过离子精修仪修复 FIB 样品的相关案例（鉴于对安徽大学科研成果的保护，我们未能直接放本次实验 DEMO 的结果）

A 案例 1

经 Gentle Mill 设备精修后的 PbTiO3/SrTiO3 界面 HRTEM 图像。

B 案例 2

ZnO 中添加 In2O3 的材料经 Gentle Mill 精修后的 HRTEM 图像。

C 案例 3

Bi0.9Sm0.1FeO3 样品经 Gentle Mill 精修处理之后的 HRTEM 图片。

D 案例 4

La2/3-xLi3xTiO3 (LLTO) 样品去除 FIB 产生的表面非晶层的完整流程。(a) 30 kV FIB 切割样品的HRTEM照片。(b-d) 连续使用低能氩离子精修后的 HRTEM 结果。图片中标识了对应的精修参数和非晶层厚度。

E 案例 5

Gentle Mill 离子精修后，Zr 和 ZrO2 中 Nb 析出物的 EELS 分析结果

产品咨询 & DEMO 邀请

为了让更多的科研人员亲自体验到 Gentle Mill 离子精修仪的优越性能，我们诚挚邀请您联系我们获取更多产品详情、应用资料或预约 DEMO，相信它将为您的研究工作带来新的启示和突破。

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ABOUT

离子精修仪介绍

Gentle Mill 离子精修仪专门用于解决聚焦离子束（FIB）高能镓离子导致的样品非晶层和离子注入问题。

离子精修仪配备专利设计的低能氩离子枪（100 - 2000 eV，连续可调），可在比FIB 更低的电压下精修样品，从而大幅减少损伤层厚度，直至 1 nm 以下。该法可对 FIB 样品/ TEM 样品进行表面减薄、表面后处理、去除非晶层和氧化层，实现对样品的表面清洁和最终精修，展现样品原始形貌结构，是改善 FIB 样品的一种有效手段。

此外，离子精修仪还可以部分去除 TEM 观察时在样品表面产生的碳沉积，从而可以实现多次利用宝贵的 FIB 样品。