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产品分类
产品简介
单温区微型CVD系统
产品型号： KM-CVD-1200-I-S
所属分类：单温区微型CVD系统
M-CVD-1200-I-S单温区微型CVD系统管式炉是一款小型化学气相沉积薄膜类制备设备，该设备在常规产品上进行了一系列的改进，包括：供气系统集成、真空系统集成等。体现出体积小、操作方便、智能化程度高等特点。
1、双层空气冷却钢壳保持炉表面温度低于60°C；
2、高纯状氧化铝纤维绝缘层，**限度节约能源；
3、炉膛和加热元件上的特殊耐火涂层可延长炉子的使用寿命；
| 项目 型号 | KM-CVD-1200-I-S |
| 炉管尺寸 | Φ60×1000mm （Φ30/50/80/100mm可选） |
| **温度 | 1150℃ |
| 工作温度 | 1100℃ |
| 推荐升温速率 | ≤10℃/min |
| 加热区长度 | 440mm |
| 功率 | 3KW |
| 电压 | 单相AC220V, 50Hz |
| 温控系统 | K型热电偶 集成式触摸屏控制 |
| 控温精度 | ±1 ℃ |
| 密封系统 | 炉管两端配有快开式密封法兰 |
| 外形尺寸 | 620mm(L) ×420mm(W) × 580mm(H) |
| 气体量程 | 100～1000SCCM |
| 气路数量 | 2～4路（MFC） |
| 气路工作温度 | 5～45℃ |
| VRD-8 | **承载量：1000Lbs；抽气速率:10m³/h； 极限真空度：10-1Pa |
| 真空度 | 双极旋片机械泵：极限10^-1Pa 分子泵机组：极限10^-3 Pa |
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