标题：

美格小型氧化亚硅气象沉积真空炉 小型氧化亚硅原料真空炉

技术参数：

装料罐尺寸Φ200 * 800，装料量0.025M3，，工作温度１35０℃，极限温度1600℃，温差控制精度3℃，真空度0.1- 2.5pa，气氛类别：Ar/N2，总功率35KW，工序时长24H/炉。

工艺特点：

三温区设计，陶瓷内胆，适用于动力电池负极材料（氧化亚硅等可气相沉积材料）小批量生产用；温差控制精度高，高温高真空；具备脱水、混炼反应、提纯等工艺能力。反应充分，成品率高（约95%），性能稳定，主要元器件皆为进口大品牌，保修期一年，售后服务高效、专业。

关键词：

气相沉积真空炉 氧化亚硅原料真空炉 氧化亚硅气相沉积真空炉

氧化亚硅归中反应 氧化亚硅提纯