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GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪配备了热蒸发附件，具有溅射和蒸发两种功能。不但可以用等离子溅射的方式镀金属膜，也可以用蒸发的方式得到碳或其他金属单质的薄膜。GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪能够满足扫描电子显微镜样品表面喷金、蒸金或蒸碳过程使用以及非导体材料实验电极的制作，也可以用于材料研究中各种新材料性能的实验。本机体积小，节省实验室空间，操作简单，清理方便，适合初学人员的使用，尤其适用于各大高校的实验室、科研院所、及各企业的实验室的使用。
产品名称 | GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪 | ||
产品型号 | GSL-1100X-SPC-16C | ||
安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀） 4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 5、通风装置：不需要 | ||
主要特点 | 配备了热蒸发附件，可以蒸发碳丝或者其他材料，如铝、不锈钢等材料，同时具有溅射和蒸发的功能。因此扩展了应用范围，特别适用于扫描电镜样品表面喷金或蒸金、蒸碳使用。 | ||
技术参数 | 1、靶：?50mm 2、样品台：?50mm 3、真空室：?160mm×110mm 4、真空度：4×10-1mbar-2×10-2mbar 5、极限电流：50mA 6、可设定极限时间：9999s 7、极限电压：1600V DC可调 8、真空泵：4L两级机械旋转泵，极限真空2×10-2mbar（也可选配国产分子泵） | ||
产品规格 | 尺寸：L400mm x W310mm x H390mm重量：50 kg | ||
标准配件 | 1 | 金靶材 | 1个 |
2 | 碳绳 | 1根 | |
3 | 钨丝篮 | 2个 | |
4 | 热蒸发附件 | 1套 | |
5 | 进气针阀 | 1个 | |
6 | 保险丝 | 2个 | |
可选配件 | 金、铟、银、白金等各种靶材 | ||
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