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精密气浮隔振光学平台
精密气浮隔振光学平台参数：
?平面度：0.02-0.05 mm/m2
?振 幅：＜1.1μm
?表面粗糙度：< 0.6μm
?重复定位精度：±0.05mm
?空气压力：0.1-0.6（Mpa）
?固有频率：垂直1.2-2.0Hz
水平1.2-2.0Hz
精密气浮隔振光学平台规格：
产品型号 | 平台规格（mm） | 支撑 | 厚度（mm） | 螺孔/阵距（mm） | 限载（Kg） | 自重（Kg） |
BZ10-07 | 1000×700×600 | 4支撑 | 100 | M6螺孔/阵距25 | 400 | |
BZ10-08 | 1000×800×600 | 4支撑 | 100 | M6螺孔/阵距25 | 400 | |
BZ12-08 | 1200×800×800 | 4支撑 | 100 | M6螺孔/阵距25 | 650 | |
BZ15-09 | 1500×900×800 | 4支撑 | 150 | M6螺孔/阵距25 | 650 | |
BZ15-10 | 1500×1000×800 | 4支撑 | 150 | M6螺孔/阵距25 | 650 | |
BZ16-09 | 1600×900×800 | 4支撑 | 150 | M6螺孔/阵距25 | 650 | |
BZ18-12 | 1800×1200×800 | 4支撑 | 200 | M6螺孔/阵距25 | 950 | 450 |
BZ20-10 | 2000×1000×800 | 4支撑 | 200 | M6螺孔/阵距25 | 950 | 500 |
BZ20-12 | 2000×1200×800 | 4支撑 | 200 | M6螺孔/阵距25 | 950 | 550 |
BZ24-12 | 2400×1200×800 | 4支撑 | 200 | M6螺孔/阵距25 | 950 | 600 |
BZ30-10 | 3000×1000×800 | 6支撑 | 200 | M6螺孔/阵距50 | 1100 | 950 |
BZ30-12 | 3000×1200×800 | 6支撑 | 250 | M6螺孔/阵距50 | 1100 | 1200 |
BZ30-15 | 3000×1500×800 | 6支撑 | 250 | M6螺孔/阵距50 | 950 | 1300 |
BZ35-12 | 3500×1200×800 | 4支撑 | 300 | M6螺孔/阵距50 | 1200 | 1400 |
BZ35-15 | 3500×1500×800 | 6支撑 | 300 | M6螺孔/阵距50 | 1200 | 1800 |
BZ40-15 | 4000×1500×800 | 6支撑 | 300 | M6螺孔/阵距100 | 1500 | 1900 |
BZ42-15 | 4200×1500×800 | 6支撑 | 300 | M6螺孔/阵距100 | 1500 | 2200 |
BZ48-15 | 4800×1500×800 | 8支撑 | 300 | M6螺孔/阵距100 | 2500 | 2500 |
BZ54-15 | 5400×1500×800 | 8支撑 | 300 | M6螺孔/阵距100 | 2500 | 2700 |
BZ60-15 | 6000×1500×800 | 8支撑 | 300 | M6螺孔/阵距100 | 2500 | 3000 |
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