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TMC主动隔振平光学台系统STACIS III
STACIS*初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微平版印刷，计量和检测设备，现在是噪声环境中敏感仪器的行业标准解决方案，包括但不限于半导体工厂，故障分析实验室，纳米技术研究，纳米制造设施和材料研究。
STACIS III包括一个新的和改进的数字控制器，DC-2020。新的双核处理器和以太网以及前后面板上的USB串行端口，这个新的先进的控制系统为用户提供了一个现代的，易于使用的图形用户界面（GUI）。通过全球数百个成功安装，STACIS是振动敏感度**的仪器的理想振动消除系统。
TMC主动隔振平光学台系统STACIS III® III特征及优点：
**改进型DC-2020数字控制器，提供易于使用的图形用户界面
隔振开始于0.6赫兹，1Hz时达到40％至70％的隔离率
频率2赫兹和更高时，垂直和水平隔振率大于90％
降低基础设施的要求和建设成本，即使有较大外界震动设备也可正常运行
有效隔振范围，0.6Hz到150Hz
获得众多用户的广泛认可和肯定
6向自由度硬安装设计，无需空气悬架
强大的控制系统无需定期重新校准
point-of-use设计方案，与客户现有隔振系统无缝兼容
随着外部环境改变，系统自动调节以适应不同外部震动情形
TMC的STACIS®技术使用压电执行器主动消振
数字控制器与基于PC的图形用户界面（GUI）
提高客户产品产量、质量、成品率。
符合RoHS标准
*宽的主动隔振带宽，**的低频隔振效果
亚赫兹的主动震动消除，*主要在0.6-6Hz频段内的隔振
可堆叠式设计
主动硬式安装结构、而非软式悬浮、无低频漂移、主动元件与刚性弹簧相连
被动弹簧滤除了来自STACIS传感器的负载谐振，需要的调谐非常少，甚至无需调谐
由于阻抗不匹配，可兼容仪器内部隔离器
负载可达2000kg
市场上**的主动隔振系统
TMC主动隔振平光学台系统STACIS III® III性能规格：
Active degrees of freedom | 6 |
Active bandwidth | 0.6 Hz - 150 Hz |
Passive natural frequency | 18 Hz vertical and horizontal |
Effective active resonant frequency | 0.5 Hz |
Isolation at 1 Hz | 40% - 70% |
Isolation at ≥2 Hz | ≥90% |
Settling time after a 10 lb (4.5 kg) step input (10:1 reduction) | 0.3 sec |
Internal noise | <0.1 nm RMS |
Operating load range per isolator | Low capacity: 400-1100 lbs (181-499 kg) Med capacity: 900-2100 lbs (408-953 kg) Hi capacity: 1900-4500 lbs (862-2041 kg) |
Static lift capacity per isolator | 9000 lbs (4090 kg) |
Stiffness (1000 lb / 454 kg mass， Med capacity isolator) | 40，000 lb/in. (73 x 105N/m) |
Magnetic field emitted at maximum 4 in.(102 mm) from the isolator | <0.02 μG broadband RMS |
隔离器设计，尺寸，环境和实用要求
Environmental and safety | CE and RoHS compliant |
Active isolation elements | high-force piezoelectric actuators that receive signal from a high-voltage amplifier with an output of up to 800 VDC |
Passive isolation element | single stiff isotropic elastomer (no compressed air supply required) |
Vibration sensor elements | downward facing geophone type inertial sensors that measure floor vibration below the isolator and deliver voltage proportional to the velocity of vibration motion |
Active feedback control loop | Floor vibration is measured， processed and attenuated below the spring supporting the isolated surface |
Isolator dimensions (WxDxH) | 11.75 x 12.5 x 10.8 in. 300 x 320 x 275 mm |
Isolator weight | 75 lb (34 kg) |
Operating temperature | 50° - 90° F 10° - 32° C |
Storage temperature | -40° - 130° F -40° - 55° C |
Humidity (operating) | 30 - 60% |
System power requirements | 100， 120， 230， 240 VAC 50/60 Hz AC; <600 w CE compliant |
Floor displacement | <480 μin. (12 μm) below 10 Hz |
Isolator count per system | minimum of 3 |
Options | laminated stainless steel platforms， frames， risers， leveling devices， earthquake restraints， lifthoods |
DC-2020 控制器规格
Dimensions (WxDxH) | 19 x 8.5 x 1.75 in. 483 x 216 x 45 mm |
Weight | 6.3 lb (2.9 kg) |
Processor | 150/75 MHz dual core |
Sampling rate | 10 kHz |
Analog outputs | 16 channels |
Analog inputs | 16 channels |
Status light | single LED |
Front panel ports | 1x serial USB 2.0 1x serial Micro-USB 1x Ethernet RJ-45 2x BNC |
Rear panel ports | 1x serial USB 2.0 1x Ethernet RJ-45 1x RS-232 DB-9 legacy serial for legacy STACIS 2100 isolators |
User interface | Front panel LCD display Character menu on HyperTerminal Extended GUI for Microsoft Windows Embedded Ethernet GUI |
STACIS用户及应用领域：
1、微电子、半导体
晶片检测
显微光刻技术
掩膜校准
2、科学研究、纳米技术
SEM、TEM
STEM、SPM
3、激光台
生命科学、药物研发
4、工业应用
精密加工
为什么要选择主动系统？
从<1Hz开始强烈消除地面震动，气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振
提高质量、生产量
更加细小特色的成像能力
前沿研究
比气动平台更稳定
满足SEM标准地点安装参数的**解决方案
使得新实验室及研究设备的工程造价更低
主动系统为何选择STACIS
正中了科研者的的心声，提供了尽可能**的无震环境。
市场上**强劲的低频隔振系统。
目前所有的SEM厂商都公布了安装参数要求，其需要的震动参数需要主动隔振系统才能满足。
STACIS**发明于1990s，经TMC进一步发展，开发和安装了数以千计的主动隔振系统，这是主动隔振控制领域的提供的可靠解决方案。
STACIS相比气动隔离器刚性大几百倍
稳定时间作为对扰动的响应，由于独特的串联式设计，而大大缩短，理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。
如下优势在业内都是****的
STACIS的主动隔振带宽为0.6Hz -150Hz
6个自由度的主动震动消除，在1Hz时隔振8-10dB
从2-3Hz时，隔振可达90% (20dB)
专业的环境调查
1、安装前后的环境调查，包括震动、磁场、声波
2、安装后可提供环境系统体系认证
完善的环境调查服务
开具专业环境报告
提供震动、磁场、声波检测及解决方案
TMC基于其广泛经验向用户推荐实用性方案
40多年的行业经验，业内的***
性能曲线?
4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s， 12.5 μm/s RMS)
现场图片
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