2核心参数：

l仪器种类：原子力显微镜

l样品台移动范围：20mm*20mm

l样品尺寸：直径≤50mm， 厚度≤20mm

l定位检测噪声：X-Y≤0.25nm， Z≤0.03nm

l产地类别：进口仪器

2准确成像， 无交叉耦合现象

l业界**的XYZ轴线性度，样品和探针分别由独立的柔性制导扫描器控制移动

l*低的平面偏移度，全程水平扫描时平面偏移量不超过1纳米

l垂直扫描器全程伸缩时，线性度优于0.015%

l优化的水平扫描器ringing现象， 科学的正向sine-scan算法

2准确扫描，真正的非接触模式

l业界**的垂直扫描器，带宽超过9kHz，探针垂直伺服响应速度超过62mm/sec

l在非接触模式下*快的扫描速度

l极低的探针磨损，能够保证长时间的高质量扫描

l极低的样品损伤

2准确测量，真正的样品形貌

l采用业界**的低噪声迟滞检测器测量样品形貌

l业界**的极小正反测量偏离量，小于0.15%

l采用优化的散热部件，极大地降低了系统热漂移和迟滞现象

l功能强大的先进隔音罩，舱体内部主动控温用户工作效率

l开放式的设计，方便更换探针和样品

l探针预定位装夹设计，简单便捷的测量激光调节过程，具有**的自上至下的直观观察系统

l创新的“十秒进针”功能，探针可自动高速完成进针操作

l24位数字电控箱，三组内置锁存放大器，具备Q-control和弹性常数校准功能

2技术参数

XY扫描器

l闭环控制式单模块柔性XY扫描器

l扫描范围: 50 μm × 50 μm (可选 100 μm × 100 μm)

l分辨率: 0.05 nm

l定位检测噪音: < 0.3 nm (带宽: 1 kHz)

l水平线性: < 2nm (over 40 μm scan)

Z扫描器

l柔性引导高力度扫描器

l扫描范围: 15 μm (可选 30 μm)

l分辨率: 0.015 nm

l定位检测噪音: 0.03 nm (带宽: 1 kHz)

l共振频率: > 9 kHz (typically 10.5 kHz)

l表面成像噪音: < 0.03 nm (0.02 nm typical)

光学系统

l可观察样品和探针的直视同轴光学系统

l视场: 480 × 360 μm (10× objective lens)

lCCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 μm）

物镜

l10x (0.21 NA) 超长工作范围的镜头(1 μm分辨率)

l20x (0.42 NA) 高分辨率长工作范围的镜头(0.6 μm分辨率)

信号处理

lADC: 18个通道 4 个高速 ADC 通道 (50 MSPS)

X，Y和Z扫描器定位传感器的24-bit ADCs

lDAC: 12 信道 2 个高速 DAC 通道 (50 MSPS)

X，Y和Z扫描器定位的20-bit DACs

l**数据大小: 4096 x 4096 像素

集成功能

l3个通道数字锁相放大器

l热噪声法标定弹性系数

l数码Q控制

外部信号介入

l20个嵌入式信号输入/输出端口

l5个TTL输出: EOF， EOL， EOP， Modulation和AC bias