编号：NMJS05484
篇名：基于石墨烯用于微弱能量获取的柔性微结构研究
作者：娄利飞； 潘青彪； 吴志华；
关键词：石墨烯； ZnO纳米线； 自驱动； 微纳系统；
机构： 西安电子科技大学微电子学院；
摘要： 本文首次提出了一种基于石墨烯用于微弱能量获取的柔性基板/石墨烯/ZnO纳米线/石墨烯的柔性微结构.首先,从理论上进行了该新结构的设计及其工作原理分析;其次,研究了该结构制备过程中的关键工艺,并设计了该结构的制备流程;最后,成功制备了该结构,并进行了相关测试.最终测试结果表明该结构能够成功输出数百毫伏的电压.这些理论和实验上的研究为自驱动微纳系统提供了研究基础,同时也对集成微纳系统的实用化发展具有一定的研究意义.
