金属离子掺杂的TiO_2-SiO_2增透膜的制备及性能

编号：FTJS00530

篇名：金属离子掺杂的TiO_2-SiO_2增透膜的制备及性能

作者：郑娜; 康浩; 郭庆磊; 潘静; 胡晓云;

关键词：增透膜; sol-gel法; 金属离子掺杂; TiO2-SiO2薄膜;

机构： 西北大学物理学系;

摘要： 为了得到高增透的TiO2-SiO2薄膜,采用sol-gel法制备了金属离子掺杂的TiO2-SiO2薄膜,并对其透射光谱和薄膜厚度进行了表征,研究了退火温度及不同金属离子掺杂(Al3+、Fe3+和Zn2+)对TiO2-SiO2薄膜增透性能的影响。结果表明:Al3+、Fe3+可提高薄膜在可见光波段的增透性,其中,掺杂Al3+的摩尔分数为0.4%的薄膜,未经退火处理的增透性能最佳(透射率可达98%)。掺杂Fe3+使薄膜的截止波长红移量最大,约为14nm。