编号：FTJS06504
篇名：原子层沉积技术及其在粉体材料上的应用进展
作者：黄钰 ;宋珂琛 ;冯昊
关键词：原子层沉积 粉体材料 表面改性
机构： 西安近代化学研究所,西安710000
摘要： 原子层沉积技术因其具有精确的沉积厚度控制、良好的保形性、均匀性等特点,已经成为一项重要的薄膜沉积技术。而粉体材料作为材料的一种重要的表现形式,其改性技术对整个材料行业都具有重大意义。原子层沉积在粉体材料特别是纳米粉体的表面改性方面也有其应用。综述了原子层沉积的原理及其在粉体材料处理方面的进展。
