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氧化铟锡纳米晶须的VLS自组装生长研究

编号:CPJS04539

篇名:氧化铟锡纳米晶须的VLS自组装生长研究

作者:沈燕 ;徐现刚

关键词:氧化铟锡 纳米晶须 气液固生长 电子束蒸发

机构: 山东大学晶体材料研究所,山东济南250100

摘要: 气液固(VLS)生长是一维纳米晶材料生长最常见的方法。通过电子束加热蒸发氧化铟锡薄膜,在缺氧状态下生长出无序纳米晶的表面形态,粗糙度达到了几十至上百纳米。分析其生长机理,是氧化物源在电子束高温下熔融分解金属,遇冷凝结成金属液滴,作为VLS生长的金属催化剂使其结晶出纳米晶须。

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