编号：CPJS04539
篇名：氧化铟锡纳米晶须的VLS自组装生长研究
作者：沈燕 ;徐现刚
关键词：氧化铟锡 纳米晶须 气液固生长 电子束蒸发
机构： 山东大学晶体材料研究所,山东济南250100
摘要： 气液固（VLS）生长是一维纳米晶材料生长最常见的方法。通过电子束加热蒸发氧化铟锡薄膜,在缺氧状态下生长出无序纳米晶的表面形态,粗糙度达到了几十至上百纳米。分析其生长机理,是氧化物源在电子束高温下熔融分解金属,遇冷凝结成金属液滴,作为VLS生长的金属催化剂使其结晶出纳米晶须。
