硅粉杂质对三氯氢硅合成启动及运行的影响

编号：CPJS00527

篇名：硅粉杂质对三氯氢硅合成启动及运行的影响

作者：周谧; 屈敏; 黎展容; 蒲晓东;

关键词：三氯氢硅; 合成; 工业硅粉; 三氯化铝;

机构： 四川新光硅业科技有限公司;

摘要： 讨论了工业硅粉中Fe、Al、Ca等杂质的含量对三氯氢硅合成系统的启动以及正常运行时的影响,并选择不同杂质含量的硅粉进行实验,以找到最适合三氯氢硅合成的生产工艺。