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ZrO2-CuO复合纳米粒子薄膜阻变特性研究

编号:CPJS05135

篇名:ZrO2-CuO复合纳米粒子薄膜阻变特性研究

作者:钱昱 ;邵思佳 ;李建昌

关键词:水热法 ZrO2-CuO纳米粒子 阻变特性 氧空位细丝

机构: 东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心,辽宁沈阳110819

摘要: 利用水热法在180℃下制备ZrO2-CuO复合纳米粒子(ZrCu),XRD测试表明随CuO含量增加,样品的结晶性变好。在ITO基片上旋涂制膜,通过GaIn微滴技术测试伏安特性,研究了复合比对ZrCu薄膜电学特性的影响。结果发现,ZrCu有良好可重复的双极阻变特性,随CuO含量增加,阈值电压降低,开关比降低。ZrCu低阻态符合欧姆特性,高阻态为空间电荷限制导电机制,阻变机理为氧空位细丝的形成与断裂。第一性原理计算结果与实验观察一致。

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