编号：CPJS05404
篇名：CeO2-Co3O4纳米晶粒对甲烷气敏性影响分析
作者：曹小荣[1] ;胡明江[2]
关键词： 直接沉淀法 纳米晶粒 敏感薄膜 甲烷传感器 灵敏度
机构： [1]河南质量工程职业学院,河南平顶山467000; [2]河南城建学院能源与建筑环境工程学院,河南平顶山467036
摘要： 为了快速准确检测矿井中的甲烷气体浓度，以直接沉淀法制备了不同含量CeO2的CeO2-Co3O4纳米晶粒。利用掩膜法将制备的CeO2-Co3O4纳米晶粒镀膜于氧化硅绝缘层表面形成敏感薄膜，采用标准MEMS工艺制作了一种薄膜型甲烷传感器。采用X射线衍射仪表征了CeO2-Co3O4纳米晶粒的相组成和微观形貌，利用全自动程序化学吸附仪分析了CeO2-Co3O4纳米晶粒对甲烷的吸附机理。在气体传感器静态测试系统上，测试了甲烷传感器灵敏度、湿度、温度、动态响应、抗干扰和长期稳定性等特性。结果表明：以Ce30为敏感薄膜的甲烷传感器灵敏度为98．3％，动态响应时间为11s，恢复时间为8s。在矿井中连续使用12个月后，灵敏度衰减了8．5％。表明该甲烷传感器可实现矿井中甲烷气体在线检测。
