编号：FTJS06785
篇名：调制周期对CrAlN/ZrN纳米多层膜韧性的影响
作者：张文勇[1] ;孙德恩[1] ;裴晨蕊[1] ;张世宏[2] ;黄佳木[1]
关键词： CrAlN/ZrN纳米多层膜 磁控溅射 调制周期 硬度 韧性
机构： [1]重庆大学材料科学与工程学院,重庆400030; [2]安徽工业大学材料科学与工程学院,安徽马鞍山243011
摘要： 目的研究调制周期对纳米多层膜性能的影响。方法采用磁控溅射方法制备了CrAlN与ZrN的固定厚度比为2.6,不同调制周期（Λ为6,8,10,20 nm）的CrAlN/ZrN纳米多层膜。利用场发射扫描电镜（FESEM）表征薄膜的形貌、结构。用Dektak150型台阶仪测薄膜表面粗糙度。用Agilent Technologies G200纳米压痕仪检测涂层的硬度和弹性模量。用划痕仪测薄膜/基材的结合力,同时,引入抗裂纹扩展系数（CPR）表征纳米多层膜的韧性。结果 CrAlN/ZrN纳米多层膜断面皆为穿晶柱状结构,调制周期为20 nm时,多层膜层与层之间的界面清晰;多层膜表面呈致密的花椰菜状,厚度均约为2μm。调制周期为8 nm时,硬度为20.4 GPa,进一步增大调制周期,硬度下降。调制周期为8 nm的多层膜临界载荷Lc2为18 N,CPR值为73.2,Lc2与CPR值均高于其他调制周期的多层膜。在临界载荷Lc2处,裂纹扩展导致薄膜发生了严重的片状剥落,露出了亮白的热轧钢基底,薄膜失去了保护作用。结论实验表明,在多层膜厚度、调制比不变的条件下,改变调制周期能够改变多层膜的韧性。随着调制周期的增大,韧性呈先上升、后下降的趋势。调制周期为8 nm时,纳米多层膜的硬度最高,韧性最好,综合性能良好。
