编号：FTJS07161
篇名：蒸发诱导纳米粒子自组装薄膜制备工艺
作者：黎相孟 祝锡晶 魏慧芬 崔学良 冯昕宇
关键词： 二氧化硅纳米粒子 薄膜 蒸发诱导自组装 几何约束
机构： 中北大学机械工程学院 中北大学仪器与电子学院
摘要： 为了获得高质量的单层纳米粒子薄膜,提出一种移动盖板约束下的蒸发诱导纳米粒子自组装工艺方法;研究了纳米粒子悬浮液浓度、基材温度、间隙高度和盖板速度等工艺要素对二氧化硅纳米粒子薄膜结构成形形貌的影响规律。结果表明,在适当的悬浮液浓度、基材温度和盖板移动速度等条件下,可以获得高质量的致密单层二氧化硅纳米粒子薄膜,典型的优化工艺参数为:纳米粒子悬浮液浓度5g·L^-1,间隙高度1mm,盖板移动速率110μm·s^-1,以及温度30℃。
