编号：NMJS07244
篇名：碲镉汞液相外延石墨舟的温度场均匀性改善
作者：陆骏 李东升 木胜 万志远 朱辉 薄俊祥 杨岸 黄元晋 王志斌
关键词： 石墨舟 温度场均匀性 碲镉汞 LPE
机构： 昆明物理研究所
摘要： 对碲镉汞液相外延(Liquid phase epitaxy,LPE)石墨舟进行了数值模拟,计算了石墨舟温度场分布。通过在母液周围加入石英框,分析其对温度场的影响,得到了石英框壁厚与温度分布的关系。模拟发现,在母液周围加入石英框结构,可以提高外延生长界面温度场均匀性。最后,将分析结果与实验相结合,进行实验验证,成功降低了边界效应对碲镉汞薄膜的影响,外延生长出厚度极差Δδ为1.4μm、组分极差Δx不超过0.002的长波碲镉汞薄膜。
