编号：FTJS08073
篇名：CuO-TiO2气敏材料的制备及其低温丙酮气敏特性研究
作者：郑洁 潘国峰 韩楠 肖悦 王如
关键词： 氧化铜 二氧化钛 丙酮 工作温度 光激发 气敏性能
机构： 河北工业大学电子信息工程学院天津市电子材料与器件重点实验室
摘要： 采用溶胶-凝胶法制备了CuO掺杂TiO2纳米材料并用于丙酮气敏传感器制备,通过XRD和SEM对样品的物相结构和表面微观形貌进行表征,利用 EDS对样品的元素种类与平面分布进行了分析,研究了CuO掺杂量、工作温度、光激发等对元件气敏性能的影响。结果表明,CuO-TiO2对丙酮表现出良好的选择性,掺杂6.6%(质量分数)CuO的CuO-TiO2,经500℃退火后,在75℃下,对体积分数为1000×10^-6丙酮的灵敏度达到106.71,响应时间和恢复时间均为2s;同时研究还显示光激发可以有效提高元件的气敏性能,紫外光照射下元件对丙酮的灵敏度相比无光条件下增幅95%,而可见光照射下元件对丙酮的灵敏度相比无光条件下仍能增幅50%。
