编号：FTJS08481
篇名：陶瓷结合剂研磨盘制备及研磨蓝宝石性能研究
作者：路家斌 聂小威 阎秋生 陈海阳
关键词： 陶瓷结合剂 固结金刚石研磨盘 单面研磨 材料去除率 表面粗糙度
机构： 广东工业大学机电工程学院 广东纳诺格莱科技有限公司
摘要： 为提高蓝宝石基片的研磨效率和质量,研制2种不同硬度的陶瓷结合剂固结金刚石研磨丸片并制作了相应的研磨盘,对蓝宝石基片进行研磨工艺试验以评估其研磨性能。结果表明:研磨时间延长,蓝宝石的材料去除率(RMRR)和表面粗糙度(Ra)均逐渐降低最后趋于稳定;研磨盘转速提高,2种研磨盘获得的工件材料去除率均先升高后降低,在研磨盘转速为60 r/min时达到最高,分别为1.81μm/min和1.27μm/min,但工件表面粗糙度则持续降低;研磨压力增大,2种研磨盘获得的工件材料去除率持续升高,在研磨压力为34.5 kPa时达到最高,分别为2.03μm/min和1.49μm/min,且此时的蓝宝石基片表面粗糙度最低分别为0.165μm和0.141μm。对比2种硬度的研磨盘磨损性能可以发现,研磨盘的硬度越高,其材料去除效率越高,研磨盘磨耗比越高,但研磨后的工件表面粗糙度相对较高。
