编号：NMJS08148
篇名：流态化气相沉积过程中稀释气体流量对颗粒表面SiO2沉积的影响
作者：吴朝阳 高子涵 孔辉 先琛 贾吉祥 廖相巍
关键词： 流态化气相沉积 稀释气体流量 核壳异质结构 铁硅合金 结构演化
机构： 安徽工业大学特殊服役环境的智能装备制造国际科技合作基地 鞍钢集团公司钢铁研究院
摘要： 利用Fe(Si)合金球形粉末为沉积基底,正硅酸乙酯为SiO2气相介质前驱体,采用引入流化环节的化学气相沉积工艺合成了Fe(Si)/SiO2复合粉末。考察了沉积过程中Ar稀释气体流量对Fe(Si)基底粉末表面SiO2绝缘介质沉积过程的影响规律及形成完整核壳异质结构的稀释气体流量范围。实验结果表明,随着流态化气相沉积过程中Ar稀释气体流量的逐渐增大,SiO2绝缘介质在Fe(Si)粉末基底表面的微观形貌从亚微米级团簇转变为完整薄膜再向多孔薄膜转变,沉积速率先减小后增大再降低,在250 sccm时SiO2绝缘介质均匀性最好,沉积速率为0.069 nm/s。此外,形成完整Fe(Si)/SiO2核壳异质结构的Ar稀释气体流量范围为200~300 sccm。
