编号：FTJS08975
篇名：Na掺杂MoO3陶瓷靶材的制备及其成膜性能研究
作者：雷金坤 李继文 李召阳 刘伟 徐流杰
关键词： 放电等离子烧结 Na掺杂 MoO3陶瓷靶材 磁控溅射 Na离子源
机构： 河南科技大学材料科学与工程学院 有色金属新材料及先进加工技术省部共建协同创新中心 金属材料磨损控制与成型技术国家地方联合工程研究中心
摘要： 为满足薄膜太阳能电池对Na源充足与稳定的需求,以钼酸钠和氧化钼粉为原料,采用放电等离子烧结技术(SPS)制备了Na掺杂MoO3陶瓷靶材(Na-MoO3),研究了烧结温度、烧结助剂Al和Na掺杂含量(“含量”指摩尔分数)对Na-MoO3靶材结构、组织、致密度以及Na回收率的影响。结果表明:在烧结助剂Al含量为1%、Na含量为3%、烧结温度为450℃的实验条件下,可以制备出致密度高(相对致密度98.2%)、钠回收率高(94.3%)的Na-MoO3陶瓷靶材。随着掺杂含量的增加,Na-MoO3靶材致密度和Na回收率降低。将含1%Al和3%Na的氧化钼陶瓷靶材通过磁控溅射工艺溅射成膜,所制备的Na-MoO3薄膜结构致密,0.28%Na元素均匀弥散分布于薄膜中。
