编号：NMJS08472
篇名：非对称扩散工艺制备近化学计量比钽酸锂晶体的研究
作者：杨金凤 商继芳 李清连 杨亚林 徐军 付主木 孙军
关键词： 近化学计量比 钽酸锂晶体 气相平衡输运法 非对称扩散工艺 富锂气氛 扩散速率 同成分
机构： 河南中光学集团有限公司 河南科技大学信息工程学院 河南工程学院材料工程学院 南开大学物理科学学院
摘要： 利用气相平衡输运法制备的近化学计量比钽酸锂晶体质量好,制备工艺简单,但受固体扩散速率低的影响,该方法较难制备大厚度晶体。本文基于钽酸锂晶体的扩散机制,采用待扩散晶片一侧为富锂气氛,另一侧为同成分气氛的非对称扩散工艺,对钽酸锂晶体进行了扩散处理,并对组分和畴反转电场进行表征。结果表明,非对称扩散工艺为反位钽离子的扩散提供了通道,提高了晶体中反位钽离子和锂离子的扩散速率,有利于制备大厚度近化学计量比钽酸锂晶体。
