编号：SBJS01025
篇名：单晶硅拉晶炉富氩尾气回收管道腐蚀原因
作者：杜大艳 袁有录 焦文艺 黄梦元 李运杨
关键词： 单晶硅拉晶炉 富氩尾气 管道腐蚀 润滑油
机构： 三峡大学机械与动力学院石墨增材制造技术与装备湖北省工程研究中心 宜昌市工业尾气回收利用工程技术研究中心 湖北和远气体股份有限公司
摘要： 通过设备运行情况分析、化学成分分析,研究了单晶硅拉晶炉富氩尾气回收管道的腐蚀原因。结果表明:引起管道腐蚀的原因是真空泵的润滑油在高温下分解产生了氟化氢、硫化氢及氯化氢等多种腐蚀性物质,这些腐蚀性物质溶于冷凝水中,并随着时间的延长逐渐累积,从而造成管道的腐蚀。通过吸附剂吸附、去离子水吸收以及优化管道的材质和壁厚解决了管道腐蚀问题。
