编号：FTJS09778
篇名：刻蚀工艺参数对单晶硅太阳能电池性能影响
作者：周平 周林 安文俊
关键词： 刻蚀 单晶硅 工艺参数 添加剂 太阳能电池
机构： 江西工程学院智能制造与能源工程学院
摘要： 以单晶硅太阳能电池刻蚀为研究对象,研究应用电子显微镜观察、电性能分析等方法,揭示不同刻蚀工艺参数下单晶硅片塔基的微观形态及电性能.结果表明:通过应用优质刻蚀添加剂,可使硅片塔基形状改善,电性能参数提高;添加剂初期时生产的电池片填充因子提高1.0299;高减重单晶硅太阳能电池片反射率相对较低.
