编号：FTJS10194
篇名：化学气相沉积氮化钛薄膜的研究
作者：王俊宝 肖维维 梁兰菊 高炬
关键词： TiN薄膜 化学气相沉积 制备
机构： 枣庄学院光电工程学院
摘要： 氮化钛薄膜材料具有优良的性能,应用广阔,总结了化学气相沉积制备氮化钛薄膜的方法和原理,介绍了化学气相沉积在制备氮化钛方面的应用现状和研究成果,分析了各种化学气相沉积方法的优势。
