编号：FTJS10296
篇名：氮化锌的制备及应用研究进展
作者：康珍 李胜楠 徐成瑜 熊莉佳 窦泽伟 李晓月 范天博 张福群 郭洪范
关键词： 氮化锌 制备方法 应用 晶体管 传感器
机构： 沈阳化工大学
摘要： 氮化锌属于过渡金属氮化物,具有反方铁锰矿结构,呈n型导电性。氮化锌材料分为薄膜和颗粒状。薄膜制备方法包括磁控溅射法、气相沉积技术、分子束外延技术等;颗粒可通过在含氮气体或氮化合物溶液中氮化锌前驱体制备,分别获得粉体或胶体。氮化锌具有高电子迁移率和高载流子浓度的优良性质,这使它在光学和电子器件等领域有着广泛的应用前景。综述了氮化锌材料的制备方法及应用研究进展,希望对氮化锌材料的发展提供一些思路。
