编号：CYYJ03984
篇名：基于钯纳米颗粒导电沟道的室温型氢气传感器的研究
作者：涂建鑫 邹杰 孙靖远 张文冰 毕春跃 谢光忠 简家文
关键词： 叉指电极 氢气 传感器 Pd纳米颗粒 氢致晶格膨胀
机构： 宁波大学信息科学与工程学院 电子科技大学光电科学与工程学院 浙江万里学院大数据与软件工程学院
摘要： 随着氢能的广泛应用,检测氢气(H2)泄漏十分必要。采用溶剂热法合成钯(Pd)纳米颗粒,结合旋涂法从极大程度上简化了覆盖敏感层工艺,在利用微机电系统(MEMS)工艺制备的硅基金(Au)叉指电极上研究了基于“氢致Pd晶格膨胀效应(HILE)”的裂结式H2传感器的敏感特性,为低成本批量化制备室温型氢气传感器提供了可行性研究。结果表明该传感器对H2的响应值与Pd纳米颗粒在基底上的覆盖率密切相关:覆盖率在一定范围内越大,响应值越小。在室温下,该类传感器对500×10-6~2500×10-6H2表现出了较快的响应速度:响应时间在5 s左右,恢复时间在25 s左右,具有较高的响应值:在2500×10-6H2气氛下高达83%,有较好的选择性和稳定性。
