编号：SBJS01079
篇名：硼扩散设备温度控制系统的研究与实现
作者：彭浩 黄心沿 吴志明 邹臻峰
关键词： TOPCon太阳电池 硼扩散设备 温度控制系统 插片方式 分区炉体
机构： 湖南红太阳光电科技有限公司 中国电子科技集团第四十八研究所 中南大学传感技术研究所
摘要： 近年来,随着光伏行业持续快速的发展,n型TOPCon太阳电池技术路线得到市场认可,产能不断扩张。硼扩散设备作为TOPCon太阳电池核心工艺设备之一受到市场极大的关注,其温度控制系统在工艺生产过程起着决定性的作用。对比硼扩散设备实际应用过程中传统炉体使用水平插片方式和顺气流垂直插片方式后得到的硅片片间的方阻均匀性,发现水平插片方式存在舟内中层硅片方阻偏高,方阻均匀性不满足技术性指标要求的问题。对此设计了新型分区炉体,提出3种温度控制系统方案,并通过工艺验证得出满足技术性指标要求的方案。研究结果表明:分区炉体搭配水平插片方式时,采用温度控制系统方案3可以满足技术性指标的要求。
