编号：FTJS106936
篇名：胶凝胶法制备薄膜的工艺优化与性能研究
作者：肖红军 曹银镭 邹杰聪
关键词： 胶凝胶法 无机材料薄膜 工艺优化 表面处理 热处理
机构： 先导薄膜材料（广东）有限公司 广东省薄膜材料工程技术研究中心 广东省高性能溅射靶材技术与应用企业重点实验室
摘要： 胶凝胶法制备薄膜的工艺优化与性能研究是材料科学领域的重要课题。文章主要研究的是胶凝胶法制备薄膜的关键工艺步骤,包括前驱体溶液配制、溶胶制备、涂覆技术、热处理以及后处理等,并探讨了这些工艺参数对薄膜性能的影响。基于优化前驱体浓度、溶胶稳定性、涂覆均匀性、热处理温度和时间等条件,能提高薄膜的化学成分、微观结构、物理性能、化学性能以及应用性能。
