编号：FTJS01660
篇名：浅谈自组装膜引导二氧化钛沉积的研究
作者：金贞玉;
关键词：自组装功能膜; 液相沉积; 二氧化钛薄膜;
机构： 盘锦职业技术学院;
摘要： 纳米薄膜或涂层材料已成为现代材料科学的一个重要分支。在此研究了磷酸化功能膜层引导纳米二氧化钛薄膜的沉积生长规律,并在单晶硅表面制备出了与基底结合紧密的纳米尺度的二氧化钛薄膜。在有机硅烷小分子磷酸化的基片上,成功制备了二氧化钛薄膜。利用X-光电子能谱、X-射线衍射仪、原子力显微镜等方法对沉积生成的二氧化钛薄膜进行了研究,证明了磷酸化的功能基片在以下所采取的实验条件下能有效引导二氧化钛薄膜的形成。
