编号：NMJS01985
篇名：上海应物所制出超高灵敏硅纳米线DNA传感器
作者：
关键词：硅纳米线； 传感器； 高灵敏； 加工技术； 信息技术研究； 研究进展； 微系统； 三角形截面； 课题组； 物理研究所；
机构：
摘要： <正>在最新一期的Nano Letters上(Nano Lett.,2011,11(9),pp 3974–3978,DOI:10.1021/nl202303y),中科院上海微系统与信息技术研究所王跃林/李铁课题组与上海应用物理研究所樊春海课题组以快报形式报导了他们在超高灵敏硅纳米线DNA传感器方面的合作研究进展。研究人员在传统半导体加工技术的基础上,利用硅材料自身的工艺选择性,基于自上而下方法发展了硅纳米线加工技术,并实现了纳米级尺寸的精确控制。硅纳米线不但宽度可以达到20纳米,而且其三角形截面
