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纳米多孔金薄膜显微结构分析

编号:NMJS02262

篇名:纳米多孔金薄膜显微结构分析

作者:陈静; 胡文成; 杜凯; 张运娟; 张淑洋; 张林;

关键词:无氰镀金; 氧化铝模板; 化学镀; 电镀; 纳米多孔金薄膜;

机构: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心; 电子科技大学微电子与固体电子学院; 四川大学原子与分子物理研究所;

摘要: 采用亚硫酸金钠为主盐,在阳极氧化铝模板上进行了化学镀和电镀金实验研究。通过扫描电子显微镜和X射线衍射分析测试表明:采用以上两种方法均能制备出纳米多孔金薄膜。两种方法制备的多孔金薄膜微观结构存在较大的差异。化学镀制备的多孔金薄膜微观上是枝晶状的,电镀制备的多孔金薄膜微观上由纳米线构成。

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