编号：FTJS02717
篇名：Co_2Z软磁铁氧体薄膜的磁性能
作者：郝思坤； 黎伟； 孟卫民； 白建民； 杨正； 魏福林；
关键词：Ba3Co2Fe24O41； 铁氧体； 薄膜； 溅射； 热处理； 磁性能；
机构： 兰州大学磁学与磁性材料教育部重点实验室磁性材料研究所；
摘要： 首先用球磨法制备了BaxCo2Fe24O41铁氧体粉料,烧结后制得块体材料,然后以其为靶材,用射频磁控溅射的方法在单晶硅基片上制备了膜厚为100nm的铁氧体薄膜。实验表明,沉积态的薄膜为非晶态结构,经过高温热处理后形成了较好的磁铅石结构。研究了成分、热处理温度、氧分压对薄膜结构和磁性能的影响。通过对热处理温度和氧分压的调整,制备出性能较好的Ba3Co2Fe24O41薄膜,饱和磁化强度为46.8A.m2/kg,矫顽力为7.3 kA/m。
