15319911367 等级:二级士官 累计积分:36 可用积分:36 |
楼主 发表于:2020-04-28 14:42:54 回复 1楼 鸿峰化学气相沉积炉的主要特点: 1.炉体结构设计采用环形加热,实现快速均匀升温; 2.开启式盖设置,加快沉积速度,降温速度快; 3.日本进口温控仪表,64控温程序,分段式加热控制; 4.双极旋片真空原+分子原,实取对真空度的不同要求,极限真空可达10E-4pa 5.品牌质量流量计+转子流量计,精确控制气体体积及流速; 5.加热区稳定温度可达1000℃; 6.工作电压:AC380v50/60Hz;功率;12-30KW; 7.炉体采用进口耐腐蚀不锈钢,高温下化学稳定性强,耐高温,热膨胀系数极小; |
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设备用途: 真空CVD化学气象沉积炉主要用于实验室新型炭材料和膜材料的化学沉积实验,属于管式高温回转炉。 |
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