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CF蝶阀APC控制系统阀
KF蝶阀APC控制系统阀
ISO 蝶阀APC控制系统阀
1. 阀
2. 处理室
3. 进气口
4. 压力传感器
5. 传感器线
6. 控制器和执行器
7. 连接遥控控制器
8. 连接电源线
9. 真空泵
集成整合压力控制器
精确的压力控制
严谨隔离
反应时间短
友善使用接口
真空压力控制和隔离阀门
>> SEMI - 半导体
>> FPD - 光电面板
>> PVD - 物理气相沉积
>> Solar - 太阳能
压力和位置控制模式
附表测试模式=> 1 cycle schedule
设置阀打开/关闭速度
记录APC HW/SW 版本, 序列号和型号
记录阀门循环和运行时间
设置公差范围的压力
循环寿命和压力控制记录
控制器参数上传和下载
断电保护功能
屏幕截图
压力学习功能
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