贝意克小型回转PECVD系统-参数-价格-中国粉体网

核心参数

非金属电热元件：
其他
金属电热元件：
铁铬铝丝
烧结气氛：
真空
温控精度：
±1℃
最高温度：
1200℃
额定温度：
1100℃

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一、主要特点

1、该设备炉管可360度旋转，管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀;

2、可左右大角度倾斜，方便出放料，倾斜角度在0~35°之间;

3、该款设备是全自动Plasma增强CVD系统(PECVD)，连续可控温度以及Plasma强度等，配备真空系统，可以实现低压条件下的实验，针对低温石墨烯、碳纳米管生长等。PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区，辉光均匀等效，这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态，这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍，并解决了物料不均匀堆积现象;

4、本款设备可以做金属复合石墨烯材料，是目前**端的金属复合材料制备设备。

二、技术参数

显示模式	7"液晶触屏显示
**温度	1200℃
升温速率	10℃/S
加热区长度	230mm
控温精度	±1℃
加热元件	电阻丝
热电偶	K型
控温方式	7"液晶触屏与工控仪表双重控温，模糊PID控制和自整定调节，人工智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能。
炉管尺寸	Φ25*800mm
炉管转速	3~13r/min
倾斜角度	0~35°
加热功率	3KW
射频功率输出范围	0~500W
供气系统	标配三路质量流量计（50/100/200sccm）
供电电源	220V50Hz
通讯接口	USB
外形尺寸	1600mm650mm1400mm
设备净重	约220KG