首页 > 窑炉设备 > 真空炉 >
小型滑轨式PECVD系统
小型滑轨式PECVD系统

参考价格

面议

型号

BTF-1200C-S-SL-PECVD

品牌

贝意克

产地

安徽

样本

暂无
安徽贝意克设备技术有限公司

金牌会员

|

第13年

|

生产商

工商已核实

留言询价
电话询价
核心参数
  • 额定温度:

    1100℃
  • 非金属电热元件:

    其他
  • 金属电热元件:

    铁铬铝丝
  • 烧结气氛:

    真空
  • 温控精度:

    ±1℃
  • 最高温度:

    1200℃
产品介绍
创新点
相关方案
相关资料
用户评论
公司动态
问商家
留言询价
电话询价
×

*留言类型

*留言内容

*联系人

*单位名称

*电子邮箱

*手机号

提交
点击提交代表您同意 《用户服务协议》《隐私协议》

虚拟号将在 180 秒后失效

使用微信扫码拨号

为了保证隐私安全,平台已启用虚拟电话,请放心拨打(暂不支持短信)
×
是否已沟通完成
您还可以选择留下联系电话,等待商家与您联系

需求描述

单位名称

联系人

联系电话

Email

已与商家取得联系
同意发送给商家
产品介绍
创新点
相关方案
相关资料
用户评论
公司动态
问商家

一、设备简介

我公司研制的滑轨式PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍,并解决了物料不均匀堆积现象。该款设备是全自动Plasma增强CVD系统(PECVD),系统可以实现连续滑动温区,连续可控制温度及Plasma强度。PECVD是借助于辉光放电等方法产生等离子体,辉光放电等离子体中:

1、电子密度高109-1012cm3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍,使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。

2、通过反应气态放电,有效地利用了非平衡等离子体的反应特征,从根本上改变了反应体系的能量供给方式低温热等离子体化学气相沉积法具有气相法的所有优点,工艺流程简单


二、主要基本参数

 1、加热系统

使用温度

1200

使用温度

≤1100

炉膛有效尺寸

Φ50mm

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制品

热电偶类型

K型热电偶

控温精度

±1

控温方式

30段可编程控温,PID参数自整定。

加热长度

230mm

恒温长度

100mm

加热原件

电阻丝

供电电源

单相,220V50Hz

 

2、PE系统

功率输出范围

0W~150W

射频输出接口

50 Ω, N-type, female

功率稳定度

≤5W

谐波分量

≤-50dbc

供电电压

单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ

整机效率

>=70%

功率因素

>=90%

冷却方式

强制风冷


3、三路质子流量控制系统

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程(N2)

50sccm,100sccm、500sccm

(可根据用户要求定制)

准确度

±1.5%F.S

线性

±1%F.S

重复精度

±0.2%F.S

响应时间

气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围

0.1~0.5 MPa

压力

≤3MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

压力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6


4、低真空机组

空气相对湿度

≤85%

工作环境

5℃~40℃

工作电电压

220V

抽气速率

10m³/h

极限真空

5X10-1Pa(空载冷态)

工作压力范围

1.01325X105~1.33X10-2Pa

进气口口径

KF25

排气口口径

KF25

连接方式

采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连


创新点

暂无数据!

相关方案
暂无相关方案。
相关资料
暂无数据。
用户评论

产品质量

10分

售后服务

10分

易用性

10分

性价比

10分
评论内容
暂无评论!
公司动态
贝意克携多款设备亮相第八届国际碳材料大会暨产业展览会现场!

贝意克携前沿科技,亮相上海第八届国际碳材料大会暨产业展览会现场!本次展会将于12月5-7日在上海新国际博览中心W1、W2馆盛大举行,来自全球的500多家行业企业齐聚上海,涵盖金刚石、培育钻石、石墨烯、

贝意克免费送《黑神话:悟空》!!

中国第一款3A大作彻底爆了!自8月20日上市以来,《黑神话:悟空》热度一时无出其右,数百万天命人重走西游,堪称中国单机游戏的里程碑。为了让更多玩家感受这款游戏魅力,贝意克现在给大家免费送《黑神话:悟空

技术文章
碳纳米管在5G物联网时代的应用

后摩尔定律时代推动了碳基电子晶体管的快速发展。5G通信和云计算促进了基于碳纳米管的场效应晶体管在电子设备中的应用。本文将重点关注碳基电子领域的最新研究热点,包括高频晶体管、生物医学传感器和制动器、脑机

问商家
  • 小型滑轨式PECVD系统的工作原理介绍?
  • 小型滑轨式PECVD系统的使用方法?
  • 小型滑轨式PECVD系统多少钱一台?
  • 小型滑轨式PECVD系统使用的注意事项
  • 小型滑轨式PECVD系统的说明书有吗?
  • 小型滑轨式PECVD系统的操作规程有吗?
  • 小型滑轨式PECVD系统的报价含票含运费吗?
  • 小型滑轨式PECVD系统有现货吗?
  • 小型滑轨式PECVD系统包安装吗?
小型滑轨式PECVD系统信息由安徽贝意克设备技术有限公司为您提供,如您想了解更多关于小型滑轨式PECVD系统报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
  • 推荐分类
  • 同类产品
  • 该厂商产品
  • 相关厂商
  • 推荐品牌
同品牌产品
多段精确控温管式炉
关注度 6164
真空管式炉(BTF-1400C)
关注度 12571
免费
咨询
手机站
二维码