随着社会的不断进步，世界已进入信息化时代。而信息技术的快速发展成功推进了科学技术的发展和国民经济的跨越。信息技术包括了测量技术、计算机技术和通信技术，其中测量技术是关键和基础。所以我们可以说，仪器仪表（特别是测量行仪器仪表）是信息产业的源头的重要组成部分。

以高反射曲面零件的超精密加工来说，准确测量和评价加工件，对提高加工件表面的质量和产品性能具有重要意义。但现有的接触式测量方法具有测量速度慢、易划伤测量表面的缺点，而单一的光学非接触测量方法难以完成对大面形或曲率较大的高反射曲面零件三维形貌的高精度测量。

中图仪器SuperView W1非接触式轮廓测量仪一体化操作的测量与分析软件，操作无须进行切换界面，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，可快速实现超精密加工高反射曲面三维形貌的高精度非接触测量。

产品参数

技术指标

产品性能特征

1、高精度、高重复性

3D重建算法、精密Z向扫描模块和光学干涉技术组成的测量系统，能够保证高测量精度，还有能够有效隔离2Hz频率以上绝大部分振动的隔振系统，能保证测量结果的测量重复性。

2、一体化操作的测量分析软件

测量数据自动统计，便于用户实时观察扫描过程的可视化窗口、结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程，实现了快速批量测量的功能；

3、精密操纵手柄

集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。

4、双重防撞保护措施

（1）Z轴硬件防撞传感器

在镜头的上方安装有机械防撞传感器，当镜头向下位移与样品表面直接接触时，触发感应器，镜头与样品表面变为软接触，并触发紧急停止开关，不再响应向下位移的指令，避免镜头和样品的损伤，双重防护，守护设备和产品，也守护每一分价值和信任。

（2）软件防撞保护ZSTOP

ZSTOP，顾名思义，就是软件设置在Z轴上的停止位，设置位置到样品表面的距离小于镜头的工作距离，当镜头运动到该位置时，就立刻停止不再向下运动，起到保护样品和镜头的作用。

5、双通道气浮隔振系统

既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。

中图仪器SuperView W1非接触式轮廓测量仪实现了超精密加工高反射曲面三维形貌的高精度非接触测量。广泛应用于如航空航天、纳米材料、半导体等各类精密工件表面质量要求高的领域中，可以说只有非接触式轮廓测量仪才能达到微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量。