金属电热元件:
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其他温控精度:
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-额定温度:
-非金属电热元件:
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扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件
和光导纤维等行业的扩散,氧化,退火、合金和烧结等工艺。水平管式炉的设计考虑了硅片生产的多种工艺性能
需要,具有**生产能力和优越的性能指标。
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