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碳化硅烧结炉是用来反应烧结碳化硅的真空烧结炉，Z高温度1800度，极限真空度5x10-1pa，保温层为石墨板和碳毡复合结构，加热室为密闭形式，阻止硅蒸汽溢出，加热材料为石墨，有充气排胶系统。
工作区有，446,4413,,5514,6620，8812，7732，8840等多种规格
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