参考价格
100-150万元型号
卧式化学气相沉积炉(沉积炭)品牌
顶立科技产地
湖南样本
暂无非金属电热元件:
其他金属电热元件:
其他烧结气氛:
其他温控精度:
±7.5最高温度:
-1500额定温度:
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电阻炉可采用多温区独立控温,温度均匀性好;
采用智能压力调控,压力波动小;
全封闭沉积室,密封效果好,抗污染能力强;
多通道工艺气路,流程均匀,无沉积死角,沉积效果好;
多级高效尾气处理系统,环境友好,能高效收集焦油及副产物,易清理;
可选配外循环快冷系统,降温时间短,生产效率高;
参数\型号 | HCVD-060609-C | HCVD-101015-C | HCVD-121220-C | HCVD-151530-C | HCVD-152023-C | HCVD-252035-C |
工作区尺寸 W×H×L(mm) | 600×600×900 | 1000×1000×1500 | 1200×1200×2000 | 1500×1500×3000 | 1500×2000×2300 | 2500×2000×3500 |
**温度(℃) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
温度均匀性(℃) | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±10 | ±10 |
极限真空度(Pa) | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
压升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
加热方式 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 |
以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。
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