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氮化铝具有良好的热传导性和抗热震性,也有良好的绝缘性。因液相烧结且晶界无第贰相,晶体结构非常致密,具有良好的抗等离子体腐蚀能力。其主要特性:
高热导率
热膨胀系数小
抗热震性
绝缘性
耐等离子体刻蚀性
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