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技术参数： 1.设备型号：VIF-1 2.**温度：1800℃ 3.冷态极限真空度：5×10 -4 Pa（分子泵机组） 冷态极限真空度：5×10 -3 Pa（扩散泵机组） 4.充气压力：≤0.05MPa 5.升压率：小于 4Pa/h 6.炉体：双层水冷结构、304 不锈钢材质。 7.复合真空计型号：ZDR-III 8.复合真空计测量范围：1.0×10 5 ～1.0×10 5 9.前级机械泵型号：BSV30 10.前级机械泵抽速：8L/S 11.扩散泵型号：TK150 12.扩散泵抽速：1000L/S 13.分子泵型号：FJ620（选购） 14.分子泵抽速：600L/S
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