新一体化钨灯丝扫描电镜 Axia ChemiSEM，该仪器将微区成分分析与电镜成像集成在同一平台上，快速提供所需微观形貌及实时成分信息，帮助学术和工业用户快速获得全面、可靠的数据，准确执行故障分析和缺陷检测。

Axia ChemiSEM 主要技术参数及特点：

•通用型 SEM 系统，可涵盖多种类型样品。可分析绝缘材料、处理大而重（达10 kg）的样品，同时能够分析常规的小尺寸样品。

•灵活性 SEM 系统，支持各类功能附件。

•使用便捷，不依赖于用户操作水平、能够便捷提供元素或化学信息。

•高度自动化，自动对中技术确保系统始终处于**工作状态，用户指南及撤销功能帮助用户更轻松操作系统。

•处理效率**：实时定量成分分析成像，更快获得定量分析数据。

•分辨率：3nm@30kV，8nm@3kV