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技术参数及要求：
基片尺寸：Φ5-Φ100mm 圆片，ZUI大100×100mm2 方片
转速：250-9000RPM
旋涂设置：任意阶段之间均可任意升降调节
转速稳定性：<±1%
旋涂均匀性：<1%
旋涂工艺阶段：6 段
旋涂时间：单步工艺0-1800s，可根据客户需求调节
整机尺寸（长宽高）：210mm×280mm×248mm
裸机尺寸（长宽高）：210mm×280mm×155mm
电机功率：40W
适应材料：硅片、玻璃、石英、金属、GaAs、GaN、InP 等各种材料
配套无油真空泵参数：
型号：KW-550A/KW-550T
抽速：1.5 升/秒
功率：320W
噪音：50db
ZUI低真空度：-700mmHg
重量：7.3Kg
尺寸(长宽高)：240mm×160mm×230mm
抽气速率：>60L/min
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