1．技术特征
?高倍率双目双视场显微镜和 22 英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程，并提供 USB 输出；既满足高精度对准，又
可用于检测曝光结果，且曝光结果和方便存储
?采用倒置式照明，更换汞灯更方便，散热和防漏光效果更好
?对准位和曝光位双工位工作，双工位自动切换
?采用嵌入式计算机+触摸屏操作，操作更方便，更时尚
?上下片、版十分方便，自动化程度高，操作简便。对高校教学科研（可靠性好，演示方便）及工厂(效率高)尤为适宜
2．技术参数
?曝光面积：100mm×100mm（可升级为 6 英寸）
?曝光波长：365nm
?分辨力：≤1 μm（胶厚 1.5 μm 的正胶）
?对准精度：±0.6 μm
?显微镜扫描台运动范围：X：10mm;Y:10mm
?掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
?样片尺寸：直径 ±15mm-- ±100mm（各种不规则片），厚度 0.1mm--6mm
?曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
?具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能30
?照明不均匀性： 3%（±100mm 范围）
?双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学**倍数 400 倍，
光学+电子放大 800 倍
物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对：10 倍、16 倍、20 倍
?曝光对准双工位自动切换
?调平接触压力通过传感器保证重复
?数字设定对准间隙和间隙
?具备压印模块接口，也具备接近模块接口
?掩模相对于样片运动行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф: ±6o
?**焦厚：400 μm（SU8 胶，用户提供检测条件）
?光源平行性：3 o
?曝光能量密度：>25mW/cm2，照明面温度<35 oC
?单层曝光一键完成
?采用球气浮+三爪找平
?汞灯功率：350W（直流，进口）
3．外形尺寸：1400mm（长）±900mm(宽) ±1500mm（高）
4．配置
（1）曝光头
?冷光椭球镜
?350W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
?XYZ 汞灯调节台
?冷却风扇
?光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镜、
冷光反射镜 1、反射镜 2
（2）对准工件台
?光刻机底座
?工位切换台（气缸）
?掩模样片整体运动台
?掩模样片相对运动台
?转动台
?样片调平机构，三点自动完成
?样片调焦机构，电机自动调
?基片抽拉式上下机构
?承片台 4 个：?15mm 、?40mm、?60mm、?100mm（可按用户要求增减）
?掩模夹 4 个：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸（可按用户要求增减）
?样片抽拉式上下机构
（3）对准显微镜
?光源、 电源
?双目双视场对准显微镜主体
?目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）
?物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）
?CCD 对准系统，22 寸液晶显示器
（4）电控系统
?汞灯触发电源(350W 直流汞灯)
?单片机控制系统
?控制面板
?控制柜桌
（5）气动系统
?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
?电磁阀驱动
?气动仪表
（6）其他附件
?真空泵一台
?空压机一台
?配套接口管道
十一、URE-2000/25 型光刻机
1．技术参数
?曝光面积：4 英寸
?曝光波长：365nm
?分辨力：1 μm（胶厚 2 μm 的正胶）
?对准精度：±0.8μm
?掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm
?掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
?样片尺寸：直径 ±15mm-- ±100mm(各种不规则片)，厚度 0.1mm--6mm
?曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
?照明不均匀性： 3%（ ±100mm 范围）
?双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学**倍数 400 倍，
光学+电子放大 800 倍
物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对：4 倍、10 倍、20 倍
?掩模相对于样片运动行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm;Ф : ±6o
?**焦厚：350μm（SU8 胶，用户提供检测条件）
?光源平行性：3.5 o
?曝光能量密度：>20mW/cm2，照明面温度<35 o
?汞灯功率：350W（直流，进口）
2．外形尺寸：1200mm（长）?900mm(宽) ?1750mm（高）
3．配置
（1）曝光头
?冷光椭球镜
?350W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
?XYZ 汞灯调节台
?冷却风扇
?光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镜
1、场镜 2、冷光反射镜 1、反射镜 2
（2）对准工件台
?掩模样片整体运动台
?掩模样片相对运动台
?转动台
?样片调平机构， 手动
?样片调焦机构，手动
?承片台 3 个（?50mm 、?75mm 、 ?100mm）
?掩模夹 4 个（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）
?基片抽拉式上下机构
（3）对准显微镜
?光源（配备品 2 只）、 电源
?双目双视场对准显微镜主体
?目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）
?CCD 及 21 英寸液晶显示器
?物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）
（4）电控系统
?汞灯触发电源(350W 直流汞灯)
?单片机控制系统
?控制箱
（5）气动系统
?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
?电磁阀驱动
?气动仪表
（6）其他附件
?真空泵一台
?空压机一台
?管道
十二、URE-2000/17 型光刻机（台式）
1．技术参数
?曝光面积：4 英寸
?曝光波长：365nm
?分辨力：1.5μm（胶厚 2 μm 的正胶）
?对准精度：±1μm
?掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm
?掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
?样片尺寸：直径 ±15mm-- ±100mm，厚度 0.1mm--6mm(可扩展为 15mm)
?曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
?照明不均匀性： 5%（±100mm 范围）
?双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学**倍数 400 倍，
光学+电子放大 800 倍
物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对：10 倍、16 倍、20 倍
?掩模相对于样片运动行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф: ±6 度
?汞灯功率：200W（直流）
?曝光能量密度：6mW/cm
2．外形尺寸：650mm（长）±600mm(宽) ±900mm（高）36
3．配置
（1）曝光头
?200W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
?XYZ 汞灯调节台
?光学系统
?冷却风扇
（2）对准工件台
?掩模样片整体运动台
?掩模样片相对运动台
?转动台
?样片调平机构，手动
?样片调焦机构，手动
?承片台 3 个（?50mm 、?75mm 、 ?100mm ）
?掩模夹 4 个（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）
?掩模抽拉式上下机构
（3）对准显微镜
?光源（配备品 2 只）、电源
?双目双视场对准显微镜主体
?目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）
?物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）
?CCD（台湾）
?21 寸液晶显示器
（4）电控系统
?汞灯触发电源(200W 直流汞灯)
?单片机控制系统
?控制机箱
（5）气动系统
?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
?电磁阀驱动
?气动仪表
（6）其他附件
?真空泵一台
?管道
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