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JXA-8230 电子探针显微分析仪
可以安装通用性强、使用方便的能谱仪X射线探测器，组合使用WDS和EDS，能提供无缝、舒适的分析环境。
产品规格：
检测元素范围 | WDS：(Be)*1 /B～U， EDS：B～U |
X射线检测范围 | WDS检测的波长范围: 0.087～9.3nm， EDS EDS检测的能量范围: 20keV |
分光谱仪数量 | WDS: 1～5道可选、EDS: 1台 |
**样品尺寸 | 100mm × 100mm × 50mm（H） |
加速电压 | 0～30kV（以0.1 kV为步长） |
束流电流范围 | 10-12 ～ 10-5 A |
束流电流稳定度 | 5%/h， ±0.3%/12h（W） |
二次电子分辨率 | 6nm（W）， 5nm（LaB6）*2 （W.D. 11mm， 30kV） |
扫描倍率 | ×40 ～ ×300，000（W. D. 11mm） |
扫描图像分辨率 | ** 5，120× 3，840 |
彩色显示器 | EPMA分析用: LCD 1，280 × 1，024 SEM操作、 EDS分析用: LCD 1，280 × 1，024 |
光学显微镜 | |
分辨率 | ～1um |
焦深 | 1um |
真空系统 | 机械泵、分子泵、离子泵 *2 |
真空度 | 样品室: 优于8.0 x 10-4Pa， 电子枪: 优于9.0 x 10-5Pa |
产品特点：
· 可以安装通用性强、使用方便的能谱仪X射线探测器，组合使用WDS和EDS，能提供无缝、舒适的分析环境。
· 日本电子新开发出的EPMA （电子探针）秉承近半个世纪的EPMA的发展历史，JXA-8230具备用户友好的操作、通过新式简单易用的PC 用户界面提供完整范围的高精度、快速分析，这是JEOL长年来对高可靠性硬件不断改良的结果。JXA-8230电子探针是下一代能完全满足多种需求的强力分析工具之一。
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· EPMA快速启动
· 点击任何一点，就能开始预设的EDS定性、定量分析或WDS分析。
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· 用户菜单（User recipes）
· 能保存或调用经常使用的各种不同类型的样品分析条件，菜单中包括了全部的电子光学参数、EDS和WDS参数在内。
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· EDS 的性能
· 数字化脉冲处理器
· 全谱面分布(WD/ED， 样品台和电子束扫描)
· 无风扇SDD (选配)
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