日本JEOL软X射线分析谱仪SXES

软X射线分析谱仪(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度Ｘ射线CCD相机，实现了极高的能量分辨率。 和EDS一样可以并行检测，并且能以0.3eV(费米边处Al-L基准)的极高能量分辨率进行分析，超过了WDS的能量分辨率。

产品规格：

· 产品规格

· 能量分辨率0.3eV（Al-L 光谱图73eV处测试）

· 获取能量范围：衍射光栅JS50XL的能区50-170eV

· 获取能量范围：衍射光栅JS50XL的能区70-210eV

· 分光谱仪艙安装位置：

· EPMA的WDS接口：NO.2接口（正面右侧）

· FE-SEM的WDS接口（正面左后侧）

· 分光谱仪尺寸　W 168mm×D 348mm ×H 683mm

· * 从接口包括CCD的距离

· 分光谱仪重量　25kg

· 适用机型

· EPMA ： JXA-8530F， JXA-8230， JXA-8500F， JXA-8200

· SEM ： JSM-7800F， JSM-7800 Prime， JSM-7100F

产品特点：

· 软X射线分析谱仪(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度Ｘ射线CCD相机，实现了极高的能量分辨率。

和EDS一样可以并行检测，并且能以0.3eV(费米边处Al-L基准)的极高能量分辨率进行分析，超过了WDS的能量分辨率。

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· 系统简介

· **开发设计的分光系统，不需移动衍射光栅或检测器（CCD）就能同时获取不同能量的谱图。而且由于能量分辨率很高，还可以采集状态分析分布图

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· SXES、WDS、EDS的比较

· 各种分光方法中氮化钛样品的谱图

· 即使在WDS分析中氮化钛的谱峰也發生重叠，需要采取去卷积的数学方法处理。如下图所示，SXES具有很高的能量分辨率。

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· 比较表

锂离子二次电池（LIB）分析实例

· 能观察到LIB的充电量

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· 充满电后Li-K样品的谱图

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说明: 由于理论上的原因，氧化锂的检测很困难

· 轻元素的测试实例

· SXES测试碳素化合物的实例

· 可以测试金刚石、石墨、聚合物的不同。

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· 各种氮素化合物的测试实例

· 氮素也可以根据波形分析化学结合状态。 硝酸盐和氮化物的波形完全不同，还能观察到易受电子束损伤的铵盐的独特波形。

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